半導(dǎo)體行業(yè)中常見真空計(jì)有電阻真空計(jì)(皮拉尼真空計(jì))、熱電偶真空計(jì)、電容真空計(jì)、電離子真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和全量程真空計(jì)等。其中冷陰極電離真空計(jì)又分為潘寧規(guī)、磁控管規(guī)和反磁控管規(guī)三種川。全量程真空計(jì)是低真空計(jì)和高真空計(jì)的組合;電阻真空計(jì)量程寬，比較常用;熱電倆真空計(jì)量程窄，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)一單，不易損壞;電容真空計(jì)測(cè)量值不受氣體種類的影響;電離真空計(jì)屬于高真空計(jì)，會(huì)發(fā)熱;冷陰極電離真空計(jì)屬于高真空計(jì)，不發(fā)熱，易維修;全量程真空計(jì)自動(dòng)量程切換，使用方便。

現(xiàn)在的大多數(shù)真空計(jì)探測(cè)頭和信號(hào)處理電路做在一起，這樣能提高抗干擾能力并且促進(jìn)其小型化。大多數(shù)探測(cè)頭使用金屬材質(zhì)而不是玻璃材質(zhì)，這樣更結(jié)實(shí)小巧。真空計(jì)顯示控制器也要求小型化，有的做到了體積為105mmx110mmx250mm,質(zhì)量為1.3kg，帶3個(gè)接頭，每個(gè)接頭可以接電阻真空計(jì)或冷陰極電離真空計(jì)等，這種智能型真空計(jì)控制器攜帶和使用都很方便。