真空機(jī)組由各種真空元件組合而成，它是不帶真空室的排氣系統(tǒng)。真空機(jī)組均以主泵命名。目前國(guó)產(chǎn)真空機(jī)組主要有油擴(kuò)散泵機(jī)組、油增壓泵機(jī)組和羅茨泵機(jī)組。
低真空抽氣機(jī)組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封真空泵、水蒸氣噴射泵、水環(huán)泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等。低真空抽氣機(jī)組的主要特點(diǎn)是工作壓力高、排氣盆大，但抽速比較低。多用于真空室的粗抽，以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過(guò)濾、真空干燥、真空脫氣等裝置中。使用低真空抽氣機(jī)組，還需要根據(jù)被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊要求，配及必要的除塵器、干燥越等部件。
中真空油增壓泵機(jī)組用以獲得1~10-1Pa的工作壓強(qiáng).其極限真空度為10-2Pa。它由油增壓泵、真空閥門(mén)、捕集器、低真空截止閥、放氣閥、管道以及電氣控制盤(pán)、水壓繼電器等元件組成。
中真空羅茨泵機(jī)組的工作真空度為1~103Pa.其極限真空度為10-1Pa。其他元件與油增壓泵機(jī)組相同。
高真空抽氣機(jī)組工作真空度為10-2~10-3Pa,其極限真空度為10-4Pa。機(jī)組的主泵通常為油擴(kuò)散泵、擴(kuò)散增壓泵、分子泵、鈦泵、低溫冷凝泵等。這些泵不能直接對(duì)大氣工作，需要配里預(yù)抽泵或前級(jí)維持泵。有些擴(kuò)散泵高真空抽氣機(jī)組還配有前級(jí)貯氣罐，以防止氣壓波動(dòng)，改善機(jī)組性能。
超高真空抽氣機(jī)組工作在10-6~10-8Pa。除了要求真空室的材料出氣率很低、漏氣率很小、能經(jīng)受200-450℃的高溫烘烤外，對(duì)機(jī)組的要求還有:主泵的極限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上。在超高真空的工作壓力范圍內(nèi)主泵具有一定的抽速。來(lái)自主泵的返流氣體的分壓力要足夠低;對(duì)被抽氣體選擇性強(qiáng)的主泵要配備足夠大的輔助泵;機(jī)組主泵進(jìn)氣口以上的管道、閥門(mén)等部件材料的選擇和密封要特別慎重.一般采用出氣率較低的不銹鋼和采用金屬密封圈。
