普通表面或多孔材料對氣體的物理吸附或吸收可用來獲得高真空。可以在任一壓強下利用吸附或吸收技術(shù)，但由于實際上的限制，它只作為某種特殊應(yīng)用，在真空技術(shù)中發(fā)展起來。
為了消除油封機械泵產(chǎn)生的碳氫化合物污染的可能性，吸附泵常用于超高真空系統(tǒng)的粗抽，并且常常與干式(無油)機械泵一起使用。按抽氣步驟依次使用兩臺或三臺吸附泵，可以從真空容器中排走大量的空氣。通過轉(zhuǎn)換到離子-吸氣劑泵抽氣，可以獲得足夠低的壓強而不使其過載。
利用吸附獲得高真空，其方法可以是通過升溫將吸附氣體物質(zhì)解吸，然后回到室溫，也可以冷卻到低溫。
商業(yè)用吸附泵通常是為獲得前級真空而設(shè)計的。然而，用基本結(jié)構(gòu)類似的泵進行多級抽氣也能獲得高真空，但要有較高的入口流導(dǎo)。
氣密封接的器件通常在升溫條件下排氣并封接。冷卻期間，吸附位的數(shù)量要多到足以提供明顯降低壓強的抽氣作用，從而可將壓強降低一個或幾個數(shù)量級。無數(shù)例子說明，凡有大的溫度變化時，在高真空中必然存在吸附效應(yīng)。例如，高真空爐在石必加熱元件還熱的情況下使真空護與泵隔離并切斷電源，只要真空爐密封良好而且殘余氣休能被充分地吸附時將發(fā)生真空爐的高真空維持一夜的情況。
